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随着控制理论、交流调速理论和电力电子技术的发展，伺服电机的矢量控制方式得到了充分的重视和发展，采用矢量控制方式，高性能变频器和变频器专用伺服电机所组成的调速系统，在性能上已经达到和超过了直流伺服系统。 此外，由于伺服电机还具有对环境适应性强、维护简单等许多直流伺服伺服电机所不具备的优点，在许多需要进行高速高精度控制的应用中这种高性能交流调速系统正在逐步代替直流伺服系统。
同通用变频器相比，高性能专用变频器基本上采用了矢量控制方式，而驱动对象通常是变频器厂家指定的专用伺服电机，并且主要应用于对伺服电机的控制性能要求较高的系统。
此外，高性能专用变频器往往是为了满足某些特定产业或区域的需要，使变频器在该区域中具有最好的性能价格比而设计生产的。例如，在机床主轴驱动专用的高性能变频器中，为了便于和数控装置配合完成各种工作，变频器的主电路、回馈制动电路和各种接口电路等被做成一体，从而达到了缩小体积和降低成本的目的。而在纤维机械驱动方面，为了便于大系统的维修和保养，变频器则采用了可以简单地进行拆装的盒式结构。
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