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真空管道方法是将集中式的动力条件供应，分解为利用本机台真空管道的支架，安装本机台的所有动力管道(包括冷却水循环水、氮气和压空等)，使人们可以清楚地分辨出那些管道属于是那部机台的，且使用点很近，可以有效地节约动力管线，减少由于软管过长而引起的漏水、漏气事故的发生。由于采用了真空管道的支架，节省了独立安装支架所占用的空间，使洁净空间的利用更有效。 真空管道安装要求如下：
1、安装时，先看水箱真空管孔，真空管孔不锈钢边缘要比保温层的孔要小些。
2、拿着硅胶圈侧看边缘，硅胶圈的中间有一个凹槽，凹槽的两侧，一边要厚外圆大些，一边要薄外圆要小一些。边薄外圆小的这侧，安放在水箱的真空管孔处时，朝里，那个凹槽要完全密合着水箱真空管口处所看到的不锈钢孔。
3、安装时，先将一边一点一点的安装。
4、安装后的硅胶圈应为拿在手中的硅胶圈的样子，才算是硅胶圈安装完毕。
5、插管。插管时，先把挡风圈(真空管与水箱外壁处的一般为黑色等的胶圈)用清水润湿，将其套在真空管的上端开口端。 再用洗衣粉水湿润下已安装好的硅胶圈，或是给太阳能上水，让水从真空管孔流出。此时，一手握着真空管的尾部护住尾尖，另一手握在真空管的1/3处，用力要均匀并保持用力方向和管口同轴线一致，把真空管插入水箱的真空管孔里，此时可多插进一段，待真空管尾部对准护托后再拉出，直至真空管与护托靠牢，再把挡风圈紧贴水箱外壁。
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